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相对于一般无尘室内广泛被使用之手持Particle counter或是落尘监控设备只能检测出环境落尘品质（如FED-STD-209E Class1000/10000或ISO 14644-1 Class 6/7）而不能检测出Particle落于何处的缺点，透过ASYS UV Particle检测机之照射而产生的反差效果，能很轻易的发觉生产设备上的Particlede落点处透过无尘布的擦拭有效提高制程良率
对曝光机，显影机及偏光板粘附机台效果为显著，其UV光是使用对人体无害的UVA波长365nm。对于制程机台上之有机物质，油迹，水迹，带静电的Particle，毛发，纤维胶类无纸Particle即可观察
